Blant dem som stemte på nett, var både president Alar Karis og statsminister Kaja Kallas.
Valglokalene stengte klokka 20 lokal tid, og det endelige resultatet var ventet å komme i 23-tiden. Det er ikke publisert valgdagsmålinger.
Kallas og Reformpartiet hadde 31,2 prosent oppslutning da nesten alle stemmene var talt opp sent søndag kveld.
Foreløpige tall fra Estlands statlige kringkaster ERR viser at over 614.000 personer stemte totalt, og det var en samlet valgoppslutning på 63,7 prosent. Av disse stemte 313.514 via internett, og det er en klar rekord.
Estland var første land i verden som tillot stemmegivning via internett i politiske valg. Konseptet er svært kontroversielt i mange land fordi det er bekymring for hvordan valgsikkerheten blir ivaretatt.
Siden det ble innført i kommunevalget i 2015, har imidlertid praksisen fått mer og mer aksept i Estland.
Estiske velgere kan også forhåndsstemme digitalt, men deretter stemme fysisk på valgdagen om de har ombestemt seg – da annulleres nemlig den digitale stemmen.
Stemmemaskiner i USA er sårbare for hacking